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怎么保證真空泵的抽氣速率呢

2019/6/15    來源:    作者:佚名  閱讀:次  【打印此頁】

  為了讓小尺度的真空泵的抽氣速率與大尺度真空泵的抽氣速率相匹配,就需求進步它的轉速。而想要改動真空泵的轉速有兩種辦法,一是改動電源的頻率,即選用變頻器;二是改動齒輪箱的傳動比。其間,選用變頻器的優點是能夠供給一個閉環控制,但在大負載下簡單引起扭距的丟失。



  而改動齒輪箱的傳動比是一種十分經濟的辦法,當然,它只能供給不可控的單一轉速,現在,能夠看到干式真空泵有著如此多的不同規劃,它們各自有著自己的特性和優缺點。一直以來,運用本錢是一個影響人們挑選真空泵的重要因素。

  越來越多的真空泵用戶意識到也應該將真空泵運轉的穩定性考慮進去。因為真空泵的意外犯錯會引起機器的運用功率下降,影響到晶圓的出產和交貨期,乃至形成所加工晶圓的作廢和機器其它部件的損壞。因為螺桿式規劃為單級規劃,同多級泵如圓裂片式,爪式以及組合式比較。

  其在零件的運用數量上削減了60百分之。這使得其在穩定性和將來的修理本錢上有很大的優勢。以上材料由馬力機電廠家供給共享,馬力機電公司專業出產:無油真空泵、旋片無油真空泵泵、活塞真空泵、小型真空泵、微型真空泵、螺桿真空泵,等產品需求了解更多產品可查看官網。

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