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關于干式真空泵的五種形式

2019/4/9    來源:    作者:佚名  閱讀:次  【打印此頁】

  關于干式真空泵的五種形式

  干式真空泵的應用規模廣泛,其中和它的五種方式有一定的聯系,不知道你們關于干式真空泵的五種方式了解多少,不了解也沒關系,本文就為我們介紹這方面的知識。

  一、組合式(羅茨+爪)

  組合式(羅茨+爪)規劃用羅茨來進步在較低壓力下的抽氣功率,用爪來進步在較高壓力下的抽氣功率。它的基本原理和氣體通路同前面介紹的圓裂片式規劃相同。也有些廠家將其最后一級改為星型規劃,這樣能夠在旋轉一圈中將氣體分為五份,就像三圓裂片式規劃能夠將其分為三份。

  二、內部緊縮型螺桿式

  螺桿間容積的不斷減小使得其內部產生緊縮。在很多工藝中,這種內部緊縮同多級泵相同,簡單造成氣體在泵體內的物理化學變化而產生固化或液化。


干式真空泵

  三、雙圓裂片式

  雙圓裂片式的多級規劃使得氣體通路相當雜亂,而且每一級都需求較大流量的氮氣起到稀釋和阻隔效果。一起,為了到達好的真空度,對各級的空隙有十分嚴厲的要求。當然,這種規劃因為增加了內部的緊縮比而使得其耗電量相對較低。

  四、三葉圓裂片式

  三葉圓裂片式規劃和上述方式規劃的原理相同,只是在旋轉一圈中將氣體分為三份而不是像雙圓裂片式分為兩份。為了進一步下降耗電量,在傳動部分有的廠家選用兩個直流馬達,但這也會導致扭矩減小,重新啟動的能力—下降。

  五、外部緊縮型螺桿式

  在外部緊縮型螺桿式規劃中,運用一對等距螺桿。這使得內部緊縮減小,一起使得氣體通路簡單。這樣,氣體在泵體內停留的時間也短。這種規劃但在雜亂的半導體工藝中表現出的穩定性十分強。

  以上就是為大家介紹的全部內容,希望對大家有所幫助。如果您想要了解更多的知識,您可以瀏覽我們的網站,我們會為您提供更專業的信息。

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